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真空烧结炉使用方法及操作须知

2024-09-02

真空烧结炉主要用于半导体元器件、功率整流器的烧结工艺，可进行真空烧结、气体保护烧结、常规烧结，是半导体专用设备系列中的一种新型工艺设备，设计新颖，操作方便，结构紧凑，可在一台设备上完成多种工艺流程，也可用于其他领域的真空热处理、真空钎焊等工艺。

真空烧结炉使用方法及操作须知：

1、因模具一般由用户自备，模具材料基本采用高纯石墨，压力极限为40MPa，建议用户安全使用30MPa以下模具，加压前应计算上、下冲头面积，然后换算成压力，具体公式为：允许压力(吨)=上或下冲头面积*30MPa

2、热电偶为钨铼型，使用后会变脆，无法接触，如有损坏应及时更换，型号为W2.

3、冬季要注意循环水的保暖问题，否则容易造成水管爆裂。

4、使用完毕后炉体应保持真空，因为炉内保温层容易受潮，所以下次抽真空要快一些。

5、由于本设备较为复杂，建议由专人使用，专人负责，新手使用前应经过严格培训，使用后应进行检查，使用时应做好记录。

改善真空炉操作的 4 个技巧

1. 擦拭主门 O 形环和法兰时(每次必须在关门前进行，尤其是在卸下炉子后)，只用裸露的手指擦拭。您可能会被刺伤或弄脏手指(那又怎么样，您是热处理工)，但是，裸露的指尖可以检测到 O 形环或法兰上哪怕是微小的划痕、缺口或碎屑。用抹布擦拭会增加您无法检测到这些情况的可能性，直到为时已晚。使用裸露的手指也可以有效地检测出已经变干并需要重新涂抹油脂的 O 形环。

2. 安装新的控制或过热热电偶后，尤其是使用 Buna N 型带孔环馈通时，请将馈通螺母拧紧，然后在初始抽空后重新拧紧，并在几个炉循环后再次检查。大多数情况下，孔环会被压缩并拉入组件深处，导致螺母松动。如果发生这种情况，TC 可能会在循环过程中被吸入炉内深处，可能在卸载工作负荷时断裂。此外，即使控制热电偶的轻微移动也会影响 TUS 结果并导致产品影响问题。

3. 如果使用带有螺栓主法兰的旧真空炉，请务必确保在达到约 -25″HG 的真空度后用螺栓固定法兰。如果在充分抽真空之前用螺栓固定门，则在工艺的抽气部分，O 形环压缩时螺栓会松动。螺栓松动可能导致正压淬火期间气体泄漏或操作期间真空泄漏。

4. 在真空炉中初始抽真空时，在引入分压或打开加热装置之前，让炉子抽真空，直到其达到缓慢下降的速率。水蒸气很难释放，而且可能需要一些时间，尤其是在潮湿的环境中。在启动炉循环之前尽可能多地排出水蒸气是防止变色的良好做法。

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真空炉的炉体结构

真空压力烧结炉优点和工作原理

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