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  • 产品描述
    • 商品名称: 气相沉积真空实验炉

    应用领域:

    氧化亚硅等真空气相沉积实验

    工艺描述:

    二氧化硅及单质硅归中反应、气相沉 积提纯

    型 号

    装料尺寸

    装载量

    工作温度

    极限温度

    真空度

    总功率

    气氛类别

    工艺时长

    设备重量

    MGB15-80HH1

    Φ 150 * 800

    0.02M3

    1350℃

    1400℃

    0.1-2.5Pa

    60KW

    Ar/N2

    24H

    2.5T

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