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100kg级氧化亚硅气相沉积炉


  • 产品描述
    • 商品名称: 100kg级氧化亚硅气相沉积炉

    应用领域:

    氧化亚硅原料/气相预镁化中试

    工艺描述:

    二氧化硅及单质硅归中反应、气相沉积提 纯,二元/三元氧化亚硅气相预镁

    型 号

    装料尺寸

    装载量

    工作温度

    极限温度

    真空度

    总功率

    气氛类别

    工艺时长

    设备重量

    MGB50-50-120VH

    500X5001200

    0.24M3

    1400℃

    1600℃

    0.5-2.5Pa

    150KW

    Ar/N2

    24H

    6.5T

关键词:

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