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- 产品描述
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- 商品名称: 氧化亚硅连续气相沉积真空炉
应用领域:
氧化亚硅连续量产
工艺描述:
连续进料、出料,硅及二氧化硅归中 反应、气相沉积提纯,自动研磨刮料、 炉外收集。
型 号
装料尺寸
装载量
工作温度
极限温度
真空度
总功率
气氛类别
工艺时长
设备重量
MGB140-130VH
Φ 1400X1300
2.0M3
1350℃
1600℃
0.5-2.5Pa
500KW
Ar/N2
连续,单炉 24H
28T
关键词:
产品咨询
服务热线:
联系人:韩女士 13715309912 (微信同号)
地址:深圳市坪山区坪山街道六和社区宝山第四工业区第20栋
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