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真空炉泄漏检查的典型程序

2024-08-15

真空炉泄漏检查的典型程序

查找真空炉泄漏的典型程序：

在开始任何测试之前，请确保氦气泄漏检测器已校准(用校准泄漏器检查)并正常工作。通过将少量流量喷入机柜，确保泄漏检测器本身没有泄漏。此外，检查泄漏检测器与炉子之间的连接点是否泄漏。

将泄漏检测器连接到粗抽管线上的端口，并关闭球阀。

确保扩散泵和低真空泵的水已打开。

启动保持泵和低真空泵。

在打开扩散泵之前，手动打开前级管线检查是否有泄漏。确保在测试后关闭前级管线阀。

慢慢打开球阀，让氦气泄漏检测器进入系统。

通过向前级管线和粗加工系统上的所有焊缝、螺纹配件和法兰区域少量喷洒氦气来检查泄漏。

修复初步测试造成的任何泄漏。

如果发现并修复了任何泄漏，请重复步骤E至H并再次检查泄漏。

如果没有发现更多泄漏，则关闭泄漏检测器球阀，并打开扩散泵，让其加热 45 分钟。

启动工艺循环并让炉泵降至最佳水平。

如果炉子无法达到高真空，请稍微打开泄漏检测器的球阀，并检查所有法兰、螺纹接头、炉膛上的焊缝、鼓风机罐、顶部管道和真空开关铜管是否泄漏。修复在此过程中发现的任何泄漏。

现在通过以高流量喷射氦气来检查整个系统。

如果没有发现更多泄漏，请关闭泄漏检测器的球阀并将其从系统中移除。

现在应该对炉子进行全面检查并准备恢复生产。

如果未发现外部氦气泄漏，而泄漏率测试显示炉子仍然具有较高的泄漏率，则还有其他几种可能性：气体通过气体回填阀或分压阀泄漏到炉子中，例如氮气或氩气。拆开这些阀门，检查是否有污垢或有缺陷的密封件或隔膜。

气体冷却热交换器可能存在水至真空泄漏。将热交换器从炉中取出，检查焊接接头处是否有水垢。用大约 100 PSIG 的气压对热交换器加压，并用肥皂泡清洗所有焊接接头。如有必要，将热交换器浸入水箱中，检查是否有气泡。浸入水中的热交换器在重新安装到炉系统中之前必须经过烤箱烘烤。在 300 o F 的温度下烘烤四 (4) 小时，以煮沸任何残留的水。

当所有其他方法都失败时，请考虑水可能从腔体水套泄漏到真空内部。它也可能来自其他水套到真空外壳，例如气体鼓风机或热交换器外壳。拆除热区的所有组件，检查可能因漏水而产生的水沉积物。如果没有观察到明显的沉积物，则将空气加压到大约 30 PSIG 的压力，并用肥皂泡清洗所有焊缝和接头。有时泄漏可能以裂纹甚至腐蚀的形式出现在腔体罐的中心。所有腔体泄漏都必须进行焊接修复和测试，并且不能出现气泡。

从热交换器或真空室或其他夹套漏入真空的水通常会使粗抽泵油因严重泄漏而变成乳白色，或因较小泄漏而略微变色。在严重漏水的情况下，真空室将无法抽至 1 Torr 以下。如果自由水在真空室或热交换器外壳的底部积聚，随着时间的推移，自由水将冻结并形成冰。有时，这会在真空室或热交换器罐的空气侧出现霜冻。

请记住，使用氦气泄漏检测器时，泄漏检测器响应所需的时间表明泄漏的大致区域，必须进行进一步评估才能找到确切位置。同一区域内经常可能存在多个泄漏。如果氦气泄漏检测仪未发现泄漏，这并不意味着没有泄漏。请记住，最后一项测试是上升率测试。

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真空热处理与非真空热处理的比较

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