- 产品描述
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- 商品名称: 100公斤氧化亚硅气相沉积量产真空炉
设备名称: 100kg级氧化亚硅气相沉积炉
应用领域: 氧化亚硅连续中试
标杆客户: 样机在制
工艺描述: 二氧化硅及单质硅归中反应、气相沉积
型号 装料尺寸 装载量 工作温度 极限温度 真空度 总功率 气氛类别 工艺时长 设备重量 MGB140-130VH 500x5001200 0.24p 1400c 1500c 0.5-2.5Pa 145KW Ar/N2 24H 6.5T
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