- 产品描述
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- 商品名称: 多腔室气气预镁硅氧材料真空实验炉
设备名称: 双料室气相沉积实验炉
应用领域: 氧化亚硅等气相沉积实验
标杆客户: 广东凯金新能源科技股份有限公司
工艺描述: 双料室装料、归中反应、气相沉积制粉。
型号 装料尺寸 装载量 工作温度 极限温度 真空度 总功率 气氛类别 工艺时长 设备重量 MGB20-60HEI 200 * 600 0.04M 1350℃ 1600c 0.1-2.5Pa 9OKW Ar/N2 241l 3T
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