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小型氧化亚硅气象沉积真空炉
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产品描述
参数
1.产品名称:小型氧化亚硅气象沉积真空炉
2.应用领域:动力电池负极材料(氧化亚硅等可气相沉积材料)
型号 |
装料尺寸 |
装载量 |
工作温度 |
极限温度 |
真空度 |
总功率 |
气氛类别 |
工序时长 |
MGB15-85HH |
Φ150 * 850 |
0.12M3 |
1350°C |
1600℃ |
0.1* 0.5pa |
35KW |
Ar/N2 |
16H/炉 |
3. 工艺特点:三温区设计,陶瓷内胆,温差控制精度3°C,高温高真空;具备脱水、混炼反应、提纯等工艺能力。反应充分,成品率高(约70-80%)
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