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小型氧化亚硅气相沉积实验真空炉

应用领域：动力电池负极材料（氧化亚硅等可气相沉积材料）
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小型氧化亚硅气象沉积真空炉

  • 产品描述
    • 商品名称: 小型氧化亚硅气相沉积实验真空炉
    • 商品编号: 1096144086734884864

    应用领域：动力电池负极材料（氧化亚硅等可气相沉积材料）

    1．产品名称：小型氧化亚硅气象沉积真空炉
    2．应用领域：动力电池负极材料（氧化亚硅等可气相沉积材料）
     

    型号

    装料尺寸

    装载量

    工作温度

    极限温度

    真空度

    总功率

    气氛类别

    工序时长

    MGB15-85HH

    Φ150 * 850

    0.12M3

    1350°C

    1600℃

    0.1* 0.5pa

    35KW

    Ar/N2

    16H/炉
     
    3. 工艺特点：三温区设计，陶瓷内胆，温差控制精度3°C，高温高真空；具备脱水、混炼反应、提纯等工艺能力。反应充分，成品率高（约70-80%）

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