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小型氧化亚硅气象沉积真空炉
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小型氧化亚硅气象沉积真空炉

应用领域:动力电池负极材料(氧化亚硅等可气相沉积材料)
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产品描述
参数
1.产品名称:小型氧化亚硅气象沉积真空炉
2.应用领域:动力电池负极材料(氧化亚硅等可气相沉积材料)
 

型号

装料尺寸

装载量

工作温度

极限温度

真空度

总功率

气氛类别

工序时长

MGB15-85HH

Φ150 * 850

0.12M3

1350°C

1600

0.1* 0.5pa

35KW

Ar/N2

16H/炉

 
3. 工艺特点:三温区设计,陶瓷内胆,温差控制精度3°C,高温高真空;具备脱水、混炼反应、提纯等工艺能力。反应充分,成品率高(约70-80%)
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