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小型氧化亚硅气相沉积实验真空炉


应用领域:动力电池负极材料(氧化亚硅等可气相沉积材料)
  • 产品描述
    • 商品名称: 小型氧化亚硅气相沉积实验真空炉
    • 商品编号: 1096144086734884864

    应用领域:动力电池负极材料(氧化亚硅等可气相沉积材料)

    1.产品名称:小型氧化亚硅气象沉积真空炉
    2.应用领域:动力电池负极材料(氧化亚硅等可气相沉积材料)
     

    型号

    装料尺寸

    装载量

    工作温度

    极限温度

    真空度

    总功率

    气氛类别

    工序时长

    MGB15-85HH

    Φ150 * 850

    0.12M3

    1350°C

    1600

    0.1* 0.5pa

    35KW

    Ar/N2

    16H/炉

     
    3. 工艺特点:三温区设计,陶瓷内胆,温差控制精度3°C,高温高真空;具备脱水、混炼反应、提纯等工艺能力。反应充分,成品率高(约70-80%)

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