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氧化亚硅半连续气相沉积炉
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氧化亚硅半连续气相沉积炉

应用领域:氧化亚硅半连续量产
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参数

应用领域:氧化亚硅半连续量产

工艺描述:高真空脱氧,气相沉积,自动研磨刮料、炉外收集。可配AGV智能物流车

型 号 装料尺寸 装载量 工作温度 极限温度 真空度 总功率 气氛类别 工艺时长 设备重量
MGB150-130VH Φ1500X1300 2.5T 1350℃ 1600℃ 0.5-2.5Pa 280KW Ar/N2 24H 21.5T

 

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