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氧化亚硅半连续气相沉积真空炉

应用领域：氧化亚硅半连续量产
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氧化亚硅半连续气相沉积炉

  • 产品描述
    • 商品名称: 氧化亚硅半连续气相沉积真空炉
    • 商品编号: 1096144096985763840

    应用领域：氧化亚硅半连续量产</br> 详细产品工艺描述及工艺参数请进入产品详细信息

    应用领域：氧化亚硅半连续量产

    工艺描述：高真空脱氧，气相沉积，自动研磨刮料、炉外收集。可配AGV智能物流车

    型 号 装料尺寸 装载量 工作温度 极限温度 真空度 总功率 气氛类别 工艺时长 设备重量
    MGB150-130VH Φ1500X1300 2.5T 1350℃ 1600℃ 0.5-2.5Pa 280KW Ar/N2 24H 21.5T

     

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